超高速主軸を用いた卓上フライス盤の開発（第4報）

- 機構の高速運動精度 -

抄録

開発中の，超高速微小主軸を用いた卓上型ミリング加工機のXYステージ機構について，サーボパラメータのチューニングと高速応答時の運動精度についてのべる．ボールねじ駆動のステージでは最大加速度は約0.2Gに制限されるが，加速度の立ち上がりは早く，高速微小円弧運動時の追随誤差はサーボ帯域で制限される．XYステージ機構にリニアモータを採用したもののについても同様の評価を行った．最大加速度は2Gまで上げられ，サーボ帯域も高くとれ，高速運動時の運動精度向上に有効であった．