抄録
測長AFMを用いて3～10 nmの膜厚を有するマイクロパターンの厚さ精密測定を行った．測定に用いた測長AFMは，XYZ軸にレーザ干渉計を搭載し，干渉計信号をステージ走査のサーボコントロールに用いているため，長さの実用標準であるHe-Neレーザ波長に直接トレーサブルな実時間校正を行うことができる．また測定試料はSiウエハの熱酸化膜をバッファードフッ酸でウェットエッチングし，エッチング前後の膜厚をエリプソメータ，X線反射率測定を用いて膜厚を確認しマイクロパターンを作製したものである．試料の中央付近における繰り返し測定の標準不確かさが0.5 nm以下が得られ，測長AFMは薄膜の厚さ精密測定に有効であることが明らかになった．
