走査型AFMによる広領域高分解能の表面凹凸形状測定

抄録

固体表面の狭領域を高分解能で凹凸測定する走査型AFMを対象として、被測定面を水平方向に規則的に移動させる機構を設けることによって測定データの重ね合わせ連結を可能とする測定機システムを開発した。被測定面とプローブの相対位置決め精度、及び、連結する測定データの最適なスティッチング技法について議論を展開している。