抄録
水熱合成法によるPZT薄膜を加振、振動検出に用いる、形状測定用プローブセンサの研究を行っている。このセンサを用いた形状測定では、近接時の測定力の大きさと、検出感度の値が問題となる。これまで、準静的な状態での解析が行われているが、タッピングモード時の測定力、感度を求めるためには、動的な状態を考慮する必要がある。このため、動的状態での測定力、検出感度を、数値計算によるシミュレーションによって求めた。また、先端曲率半径、対象物の弾性、センサの加振力、接近速度、センサの振動子のQ値が、測定力、検出感度に与える影響について調べた。
