PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第10報）

表面形状測定画像と接触状態

抄録

水熱合成法によるPZT薄膜を加振、振動検出に用いる、形状測定用プローブセンサの研究を行っている。このセンサを用いて、回折格子の表面形状の測定を行った。パターンの形状検出は可能であったが、センサ先端の形状が課題である。また、センサ近接時の状態から、測定力、検出感度を求め、既報のシミュレーション結果との比較を行った。これにより、シミュレーションの妥当性が示された。測定力の大きさは、目標値よりも大きくなり、先端形状、加振条件の検討が必要である。