集束イオンビーム加工による超精密·微細ダイヤモンド工具の製作に関する研究

抄録

超精密切削あるいは微細切削加工用単結晶ダイヤモンド工具の刃先の成形を従来の研削加工ではなく集束イオンビーム加工により行う方法を検討した．本報では，基礎的検討として，2次元切削用工具を作成し，刃先形状特性および切削特性を調べた．