ツイストローラ摩擦駆動装置によるピコメータ位置決め

抄録

筆者らはこれまでに、リードをきわめて小さくできる「ツイストローラ摩擦駆動装置」を開発し、その位置決め性能について解析してきた。これまでの研究によって、ACサーボモータにより駆動した場合、0．5nmの位置決め分解能を得ている。本研究ではこのツイストローラ摩擦駆動装置の位置決め分解能の限界を探るため、駆動軸を圧電素子とてこにより微少に回転させる機構を考案した。この微少回転機構での運動縮小率は約1000分の1であり、圧電素子の全ストローク10μmに対して位置決めテーブルの移動量は10nm程度となる。この微小回転機構を用いて位置決め分解能を調べたところ、最小分解能50pmでの位置決めに成功したので報告する。