光音響法による不透明多層膜厚計測技術の提案

抄録

本研究の目的は自動車の塗装膜や炭素コーティングなどの不透明の多層膜厚をミクロンオーダーで精密計測することである。本手法はパルスレーザを照射し、最表面での光吸収によって超音波を励起(光音響効果)し、膜厚に応じた共振周波数を検出して多層膜圧を測定する。本手法の特徴は、不透明多層膜厚の計測が可能であることと、非接触で計測できる点である。