波長走査干渉計測による内部界面形状計測手法の開発

抄録

透明で両面が平行な結晶やガラスの板からなる光学素子の加工において、波長走査干渉計を用いると、両面の形状や厚さ分布を
加工中に計測することが可能である。しかし、複数の干渉光が観測され、測定ノイズが大きいことが問題になっている。本研究では透明な測定対象中の任意の内部界面を計測可能であり、ノイズを従来のアルゴリズムの1/10以下に低減した解析アルゴリズムを開発したので報告する。