抄録
先端科学技術において、原子オーダーの形状精度を有した表面の加工にあたり、その絶対形状評価が必要となってくる。そこで、原子オーダーの計測精度を有し、大面積表面形状計測を目標に試作開発を進めている位相シフト点回折球面波干渉計（Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer; PS-PDI）装置について述べる。本装置の開発に際して、被検面の移動による位相シフトは計測結果に振動の影響を重畳することがわかり，大面積になるほどその影響大きくなることが分かった。そこで、振動の影響を抑制すべく，光源側での位相シフト（2光束間の相対的な位相差）が実施できるよう改良した。この改良前後での，直径200mm、曲率半径1500mmの凹面球面ミラーの計測結果について詳細を述べる。また、計測の横分解能の向上を目指して，同凹面ミラーの一部をズームアップして計測する手法の検討を始めたので，その現状ついて述べる。
