静電容量型変位センサを用いた平面領域輪郭形状測定機とその不確かさ評価

齋藤 輝明; 柳 和久

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.112.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: B79

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.112.0

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主催: 社団法人精密工学会

計測における複雑さと精密さ（1）

静電容量型変位センサを用いた平面領域輪郭形状測定機とその不確かさ評価

*齋藤輝明, 柳和久

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キーワード: 不確かさ, 静電容量型変位センサ, 輪郭形状測定機, 表面形状, 平面度, 表面性状

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抄録

　静電容量型変位センサを用いて面領域の表面形状を測定する平面輪郭形状測定機を開発した．この測定機に対して不確かさ評価を行った．不確かさ成分の中で主な要因となる静電容量型変位センサについては高さが既知の標準片を繰り返し測定することでAタイプで，XYステージについては幾何学的なモデルを用いてBタイプでそれぞれ見積もった．最終的に測定機全体の拡張不確かさを求めた．

責任著者(Corresponding author)

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