非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法

抄録

ゲージブロックの中央寸法偏差および端面形状測定において，リンギングに起因する不確かさや面の歪みを排除し，かつスループットを向上することを目的とし，非リンギングで両端面の干渉画像を同時取得し寸法と形状を一括測定する校正装置を開発した．本手法の実用化には技術上・規格上の問題があるものの，現在までのところ数nm(P-P)という非常に高い繰り返し再現性を得たので，これを報告するとともに将来の展望を述べる．