フルクローズド制御における象限突起の抑制

抄録

リニアスケールを搭載したフルクローズド制御のボールネジ駆動機構では，セミクローズド制御に比べて移動方向反転時に生じる象限突起が顕著になる．これはリニアスケールで検知したモータ＝負荷間の弾性変形を，フィードバック制御系では応答遅れのために補償しきれないためである．そこで，方向反転時のみに作用して定常ではゼロになる漸減型バックラッシ補正法を提案し，有効性確認のために実施した実験結果を報告する．