研磨材スラリーを含浸させた磁性粒子ブラシの垂直作用力

抄録

磁気研磨加工において加工圧を発生させる磁性粒子ブラシの押し付け力すなわち加工面に垂直な方向の磁気作用力は、磁界の強さ、磁場勾配および磁性粒子の磁気物性以外に、相対運動による磁性粒子の挙動によって変化することがわかっている。
本研究では、研磨材スラリーを含浸させた磁性粒子ブラシが発生する垂直方向作用力の特性を調べた。作用力はスラリーの物性や相対運動の状態によって異なる場合があることがわかった。