空気軸受の層流化の研究

空気軸受の鏡面化による切削加工の評価

抄録

超精密加工機に使用されている空気軸受面の面精度を超精密加工の範囲においても加工に影響にでない構造にした。この超精密加工機を使用し、実際に加工実験を行って、ナノオーダの面精度を達成し、その効果を確認したので報告する。