ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測に関する研究 光プローブを用いた位置合わせ機構

元木 健順; 高 偉; 青木 純; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.441.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: H61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.441.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測（1）

ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測に関する研究

光プローブを用いた位置合わせ機構

*元木健順, 高偉, 青木純, 清野慧

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キーワード: 原子間力顕微鏡, ダイヤモンド切削工具, 機上計測

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抄録

本研究の目的は，自己検知型カンチレバーを用いた小型の原子間顕微鏡を開発し，ダイヤモンド切削工具を機上計測することである．ダイヤモンド切削工具のような鋭いエッジを持つ試料では，カンチレバーと試料の位置合わせを行うことは大変困難である．そこで本研究では，光プローブを用いた位置合わせ機構を提案する．本発表では，この機構によるカンチレバーとダイヤモンド切削工具の位置合わせ実験結果について発表する．

責任著者(Corresponding author)

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