精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会秋季大会
セッションID: H62
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知的精密計測(1)
STM探針の原子トラッキング制御の安定化
*外川 陽一Rerkkumsup PongpunSermsak Puimum明田川 正人高田 孝次
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抄録
本研究室では走査型トンネル顕微鏡(STM)の探針を結晶格子表面の原子頂点(あるいは底点)に位置決めする原子トラッキング制御を開発している.しかしこの位置決め法は振動,音響,熱ドリフトなどの外乱に対する安定性が低いという欠点がある.これを改善するため,システムの伝達関数を実験的に決定し外乱に強いコントローラを設計した.本研究では,提案したコントローラを用いた原子トラッキング制御の結果を報告する.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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