光触針式輪郭測定におけるスペックルノイズと表面傾斜による測定誤差の同時補正法

抄録

従来の光触針測定法では、触針式には見られない高周波成分や突発的な異常値等の測定値変動が発生する。その原因のほとんどは、測定面の微細凹凸により発生するスペックルと表面傾斜である。既報においてスペックルノイズ除去機能を有する測定システムを提案し、スペックル除去の効果を示した。本報では表面傾斜が光触針法に与える影響を明らかにし、前報のスペックルノイズ除去測定システムが、スペックルノイズと表面傾斜による測定値変動を除去する機能を併せ持つことを示す。