ナノプローブ電気計測システムの制御

万 化; 居村 史人; 板倉 敬二郎; 中田 明良; 久保田 弘; 前田 安浩; 小坂 光二

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.443.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: H63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.443.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測（1）

ナノプローブ電気計測システムの制御

*万化, 居村史人, 板倉敬二郎, 中田明良, 久保田弘, 前田安浩, 小坂光二

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キーワード: ナノプローブ, ナノマニピュレータ, 連動駆動, LSI検査

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抄録

　本報告では，LSI全面にわたり直接コンタクト可能なナノプローブ計測システムの制御方式について検討した結果を述べる．本システムでは電子顕微鏡下にストローク20mm，制御分解能10nmのマニピュレータ4台と試料ステージ1台を設置しており，SEM画像とLSIのCAD設計図面を対比し，ステージとマニピュレータの連動位置制御により，ナノプローブ先端と試料上のコンタクト位置を精密に繰り返し指定・移動することが課題である．

責任著者(Corresponding author)

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