線状レーザ光を用いた空間座標位置計測（第25報）

球状センサを用いたディテクタの基本性能

抄録

3台のスキャナから発射されたレーザ光平面を計測対象に置いたディテクタ（光センサ）が検知した時の3平面の回転角度を計測することにより、それらの交点として座標位置を計測するシステムを開発している。検知する有効受光範囲を拡大し，また平面の入射角による誤差を低減するために、光センサとして球状フォトダイオードを採用した。本報では、この新型ディテクタの基本性能について報告する。