鏡面反射スポット画像に基づく形状計測装置の開発

抄録

これまで測定困難であった鏡面形状の非接触計測のための新しい方法として，鏡面反射スポット画像に基づく形状計測法を提案し，これに基づいた形状計測装置の開発を行った．
本測定法では計測対象の表面に照射されたレーザービームの反射ビームを，距離の異なる2つの平面上に投影させ，その位置を画像計測によって求めることで，反射点の位置と接平面の法線方法を同時に算出する．
試作装置による実測実験の結果を検討し報告する．