小型自走機械群による超精密生産機械システム

第81報　ホッピング加工機による微細溝加工の自動化

抄録

本研究では、自走機械に搭載した小型ホッピング加工機による微小形状加工の検討とその自動化を目的としている。今回、より自由度のあるXYθ型自走機械を用いる事でのシステムの簡略化とホッピング加工機及び加工ステージの自動制御システムの開発を行った。また、ホッピング加工機の制御方法改良による加工痕の改善についても検討を行った。本報では、それらの原理とその評価実験の結果について報告する。