抄録
近年、微細部品のニーズの拡大及びMEMS(Micro Electro Machine System)の発展に伴って、マイクロ放電加工の研究がますます重要になってきた。マイクロ放電加工の電極の形成は東京大学の増沢らが提案したWEDG加工法が一般的に用いられている。これまでにこの方法で作られた微細電極の最小直径が約5μm程度であった。しかし、5μm以下のニーズに対してマイクロ放電加工は対応できない。そこで、本研究ではマイクロ放電加工でサブミクロンの電極を作ることを目的とし、まず，そのサブミクロン加工ができない理由について検討した．
