ローカルアクチュエータによる微細穴放電加工

三宅 英孝; 中川 孝幸; 今井 祥人; 戸倉 和

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.725.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: M34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.725.0

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主催: 社団法人精密工学会

電気加工の現象理解と新しい展開（3）

ローカルアクチュエータによる微細穴放電加工

*三宅英孝, 中川孝幸, 今井祥人, 戸倉和

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キーワード: 放電加工, 微細穴, ローカルアクチュエータ, 高応答, 磁気浮上

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抄録

電極の高応答駆動と回転を可能とするローカルアクチュエータを使用して微細穴放電加工の高速化を図った．本ローカルアクチュエータは，磁気吸引力により加工方向へ電極部分のみを高応答駆動し，さらに本アクチュエータを従来の電極駆動装置と組み合わせて協調制御することにより電極の高応答かつ大ストローク駆動を実現した．これによりΦ100μm以下の微細穴放電加工において，加工時間を従来の1／3に短縮することができた．

責任著者(Corresponding author)

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