超音波モータを用いた回転ステージの3自由度姿勢決めに関する研究

抄録

当研究室では超音波モータを用いた3自由度回転ステージの開発を行っている。これは3つのステータと1つの球状のロータからなり簡単な構造で3自由度の回転ができて姿勢決めが行える。そこでこれを用いて1/1000[deg]以内での姿勢決めが可能なステージの開発を目的とする。