機上レーザープローブ計測システムの開発

渡邉 裕; 大鷹 英雄; 大森 整; 林 偉民; 片平 和俊; 牧野内 昭武

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.796.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: N73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.796.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（2）

機上レーザープローブ計測システムの開発

*渡邉裕, 大鷹英雄, 大森整, 林偉民, 片平和俊, 牧野内昭武

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キーワード: 機上計測, レーザープローブ, 形状, 表面粗さ

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抄録

光学素子，精密加工や半導体電子部品など，極めて高品位な面粗さ，高精度な極微細形状が要求されている．これらの加工工程時に，機上にて計測できることが重要な課題となっている．そこで本研究では，非接触式のレーザープローブを機上に搭載し，表面粗さや形状精度を高精度で測定できるシステムを開発したので，その報告をする．

責任著者(Corresponding author)

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