モバイルAFMを用いた機上計測の特性

渡邉 裕; 大鷹 英雄; 大森 整; 林 偉民; 片平 和俊; 佐々木 哲夫; 牧野内 昭武

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.797.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: N74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.797.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（2）

モバイルAFMを用いた機上計測の特性

渡邉裕, *大鷹英雄, 大森整, 林偉民, 片平和俊, 佐々木哲夫, 牧野内昭武

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キーワード: 機上計測, 原子間力顕微鏡, 形状, 表面粗さ

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抄録

回折格子やフレネルレンズなど光学素子では極めて高品位な面粗さ，高精度な極微細溝形状が要求されており，加工工程において機上計測できることが重要な課題となっている．そこで本研究では，デスクトップタイプ加工機上において、コンパクトで軽量なモバイルAFMを用いた極微細構造の測定を行い，その特性について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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