フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのための静電駆動マイクロカンチレバーの開発

抄録

本研究では、低接触力MEMSプローブカードを実現するため、フリッティングコンタクト法を利用した静電駆動Niめっきマイクロカンチレバーの作製プロセスを開発する。これにより、プローブ·電極間にかかる接触力を制御して一様なコンタクトが得られると同時に、静電駆動によってコンタクトの切り替えを行うことが可能となる。本発表では、作製プロセス、静電駆動によるコンタクトの評価、フリッティング測定結果を報告する。