極狭所におけるマイクロ反射ミラーの非破壊計測に関する研究

抄録

MEMS部品の非破壊計測及び評価はMEMS製品の実用化に対して極めて重要である。本論文では、光スイッチ用のマイクロミラーの反射面及び該ミラーを成形する金型の側面を評価する走査型プローブ顕微鏡（SFM）を開発し、MEMS部品の測定を試みた。開発したSFMは精密な精密な微動機構と位置決め機構を有し、また自己検出型カンチレバーを用いている。このため、極狭所におけるマイクロミラーや金型をアクセスし、ミラーの反射面を評価する事ができた。従って開発したSFMはMEMS製品の実用化において有力なツールであることを実証した。