ダイヤモンド切削された無酸素銅表面のシール性能

上田 一弥; 樋口 誠宏; 山口 智実; 山野 隆章; 島田 尚一; 人見 宣輝; 東 保男; 横溝 精一

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.125.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: C14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.125.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

表面機能の形成と評価

ダイヤモンド切削された無酸素銅表面のシール性能

*上田一弥, 樋口誠宏, 山口智実, 山野隆章, 島田尚一, 人見宣輝, 東保男, 横溝精一

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キーワード: ダイヤモンド切削, 表面性状

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抄録

本研究は，高真空度の要求される粒子加速管を構成するセルの表面性状について検討したものである．ダイヤモンド切削された方向性のある銅表面の微小突起を三角柱と仮定し，その変形挙動を有限要素法により弾塑性解析した．この結果を浸透状態にある接触界面に適用して接触荷重を求め，気密性に優れた超精密加工面を解析的に求めた．併せて，Heリーク試験を行って解析結果と比較検討した．

責任著者(Corresponding author)

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