単結晶シリコンの超精密切削面のレーザーラマン特性に関する研究

抄録

単結晶シリコンは，一定の条件を満たせば延性モード切削が可能である．しかし、切削面の変質層や被削材内部の結晶構造変化については、いまだ十分に解明されていない。そこで本研究では、加工条件を変化させて単結晶シリコンを切削し、切削面をマイクロレーザーラマン分光法により評価した。その結果、切削面は部分的にアモルファス構造になり、アモルファス化の程度は切削条件に強く依存していることが明らかになった．