静電浮上機構（静電レール）によって高真空中で浮上された物体の静電モータによる直動駆動

抄録

微細構造の加工，観察機器には高真空環境が求められおり，機器の自動化に伴い，高真空環境下での搬送装置に対する必要性が高まってくる．真空環境では，塵埃，固体間の摩擦，凝着の問題があり，浮上機構を利用した搬送装置が有効である．筆者らは磁場による電子線への影響がなく，発熱も少ない静電浮上を利用し，並進方向に自由度を有する浮上機構（静電レール）を提案してきた．本報は，この静電レールに静電モータを組み込み，その浮上体の駆動について報告する．