ELID研削用メタルレス導電性砥石の開発

第3報：運動転写加工への適用

抄録

環境調和型ELID研削加工の構築を目的として開発したメタルレス導電性ボンド砥石を運動転写型加工機に適用し、その加工特性について調査を行った。実験では＃1200、＃8000砥石を使用し、加工面粗さ、形状精度、加工面性状などを調査した。実験の結果、安定した研削加工が実現できること、Ry100nm以下の鏡面研削加工が実現できることを確認した。