ELID研削における研削液供給方法に関する研究

（第3報：微細ピンの加工）

抄録

環境に優しいELID研削加工技術の構築を目的として，電解手法，砥石，研削液など各要素技術の検討を進めている。 環境に優しい加工技術要素の一つに，供給する研削液量をできる限り少なくするMQLが提案されている。この概念を取り入れた微少量研削液供給によるセミドライELID研削法の実用化を進めている。 本報告では，微少量研削液の供給による微細加工について調査した結果を報告する。