数値制御EEM (Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の形状修正

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H06

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

超精密物理化学加工

数値制御EEM (Elastic Emission Machining)による広空間波長帯域の形状修正

著者情報

キーワード: EEM, 超精密加工

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

EEM (Elastic Emission Machining)は微粒子と加工表面との反応性を利用した超精密加工法である。今回、ミリメートルからサブナノメートルの空間波長帯域の加工表面を評価した結果について報告する。