プラズマCVMおよびEEMによる超高精度X線ミラーの作製とその応用

抄録

超精密加工法であるプラズマCVMおよびEEMによる超高精度X線ミラーの作製プロセス、とSPring-8において評価した結果について報告する。超精密加工技術、形状計測技術、X線シミュレーションを組み合わせることで、世界最高性能の集光ミラーおよび平面ミラーの作製に成功している。また、その応用研究であるX線顕微鏡の開発についても報告する。