レーザープローブを用いたオンマシン形状計測システムの開発とその特性

渡邉 裕; 大森 整; 林 偉民; 片平 和俊; 牧野内 昭武

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.399.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: H20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.399.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（2）

レーザープローブを用いたオンマシン形状計測システムの開発とその特性

*渡邉裕, 大森整, 林偉民, 片平和俊, 牧野内昭武

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キーワード: 機上計測, レーザープローブ, 表面粗さ, 形状

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抄録

光学素子，精密加工や半導体電子部品など，極めて高品位な面粗さ，高精度な極微細形状が要求されている．これらの加工工程時に，機上にて計測できることが重要な課題となっている．そこで本研究では，非接触式のレーザープローブを機上に搭載し，表面粗さや極微細構造を高精度で測定できるシステムを開発し，その仕様および特性について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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