超精密形状計測装置の開発

開発した計測装置の性能

抄録

測定原理に基づき計測装置の製作をおこなった。装置の性能を確認するために3面合わせにより形状誤差が絶対値で2nmで測定された平面を測定することにより装置の性能チェックをおこなった結果、スロープエラーとして10E-7radの精度で計測できることがわかった。