硬脆材料の超精密噴射加工

抄録

硬脆材料の超精密光学部品などの加工では，研削加工で形状創成したのち，研磨加工により表面粗さを向上させるのが一般的であるが，研磨加工は材料除去量を加工面全域で均一にすることが難しく，形状精度を維持しつつ表面粗さを向上させることが困難である．本研究では硬脆材料の超精密加工における加工精度を向上させるため，最終的な修正仕上げの局所加工法として，超微細砥粒を水に混合した加工液を加工面に高速噴射させて，nmオーダの極微小加工を行う「ナノアブレ－ジョン」を考案し，形状修正加工を行った．