アブレイシブジェット加工に関する研究

抄録

近年、微小電気·機械システム(MEMS)に必要な微小サイズの機械部品やマイクロマシンパーツ，集積化センサ，マイクロアクチュエータ等の機能性微小構造体の研究開発が盛んに行われている．最近ではそれらデバイスはセラミックス材料からなるものも多く、従来の加工法では加工が難しい。本研究では材料微粒子を噴射し付着させることでこれらのデバイスをダイレクトに精密創生することを試みる．