サブミクロンV溝の超精密マイクロ切削

抄録

本報では、超精密空気軸受けを有する超精密マイクロ5軸空気静圧駆動システムと単結晶ダイヤモンド工具を用いたサブミクロンの間隔をもつブレーズ化されたV溝の製作手法の基礎的な実験を行った結果について報告を行う。