空気軸受の層流化の研究

切削加工によるサブミクロンピッチ格子の製作

抄録

超精密加工機に使用されている静圧空気軸受を層流化することによって乱流に起因する微細な振動を完全に排除し、超精密加工の範囲においても加工に影響にでない構造にした。層流化を施した超精密加工機を使用して、サブミクロンピッチの連続したV溝加工（回折格子）の製作を行い、この効果を確認したので報告する。