マイクロ部品の製作法に関する研究

抄録

マイクロ部品の効率的な生産加工法に関して，切削加工法を中心に検討した．工作機械には超精密旋盤を用い，部品の把持には超精密ダイヤフラムチャックを用いた．また，工具には主に単結晶ダイヤモンドバイトを用いた．切削加工法には，傾斜超音波振動切削法，および製作中にマイクロ部品にかかる切削抵抗を最小にできマイクロ部品の加工に適したツールパスを用いた．本研究では，さらに，製作したマイクロ軸部品の組立て法に関しても検討した．