自己組織化を用いた半導体生産システムの設備計画に関する研究

抄録

半導体需要は変動が激しく，またその製造プロセスは一連の工程を複数回繰り返す複合プロセスである．そのため，それらを考慮した設備台数および設備配置計画は必然的に難易度の高いものとなり，既存の最適化手法ではとりあつかう事が困難である．本研究ではポテンシャル場に基づいた自己組織化を用いることにより，設備配置および設備台数を同時に計画する手法を提案するとともに，計算機実験によりその有効性を確認する．