フェムト秒レーザーによるガラス表面への溝加工

抄録

　フェムト秒レーザーを用いた透明ガラス試料の微細加工についての検討を行った。フェムト秒レーザーは微細加工において非常に注目されている。今回、XYZステージを用いることで、穴あけ加工に加えてより複雑な形状の加工についても検討した。各条件における加工の様子を今までの研究結果と比較して報告する。