紫外パルスレーザによる微小立体加工法に関する研究（3）

抄録

　本研究では、QスイッチYAGレーザの4倍波（波長266nm）の蒸散作用による加工法と5軸制御加工ステージを用いて、加工材を任意の位置に制御し3次元微小立体加工を行っている。今回の実験では、この加工システムによりポリイミド樹脂を用いて、軸流型のマイクロ風車とその軸受を製作し、動的性能評価を行った。また、微小ダイヤモンド工具の製作及びfsレーザーとの加工特性の比較を行った。