抄録
薄膜シリコン系の太陽電池は、結晶系のそれと比べ、(1)シリコンの使用量が少ない，(2)低コストである，(3)大面積基板に一括形成が可能である等の有利な特徴を有している。特に高価で重量の重いガラス基板を用いない非ガラス基板タイプの薄膜系太陽電池では、[1]軽量である，[2]フレキシブル化が可能等の特徴に加え、集積化することにより[3]単一基板上で複数の素子を直列接続し、高電圧化が可能(インバーターによる直流←交流変換時に有利)等の付加価値をもたせることが可能である。しかしながら課題も多く存在する。第1の課題は、変換効率、特に安定化後1)の変換効率の向上であり、第2は集積構造と集積化技術(加工技術)の開発である。前者の安定化後の変換効率の向上に対しては、薄膜微結晶(μc-Si)と非晶質Si(a-Si)をヘテロ接合した発電層を用いることで、変換効率の向上と共に、光劣化率を大幅に低減出来ることが知られているが2)、これを用いた非ガラス基板タイプの集積型太陽電池においては、発電層の能力を十分に引き出し得る集積型太陽電池はまだ得られていない。本報告では、上記の薄膜微結晶Si/非晶質Siハイブリッド構造の太陽電池における集積化技術の開発を行ったので報告する。
