LD励起QスイッチYAGレーザによる超微粒超硬合金の微細穴加工 加工穴の評価

岡本 康寛; 宇野 義幸; 湯浅 英司; 窪田 真一郎

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.493.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: I69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.493.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

レーザ加工技術（3）

LD励起QスイッチYAGレーザによる超微粒超硬合金の微細穴加工

加工穴の評価

*岡本康寛, 宇野義幸, 湯浅英司, 窪田真一郎

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キーワード: 超微粒超硬合金, YAGレーザ, 加工穴断面形状, LD励起

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抄録

LD励起QスイッチYAGレーザによる超微粒超硬合金に対する微細穴加工を行ったところ，加工条件によって加工穴形状に大きな違いが生ずることを確認した．焦点位置の違いにより加工穴断面に膨らみが生し，その膨らみは焦点が加工試料表面から集光レンズ側に離れるにしたがって多くなる傾向にあった．しかし平均出力を低く，パルス繰返し数を増大させることにより穴内部に生じる膨らみを減少することができることを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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