結晶格子スケールとレーザ干渉計を複合した絶対測長器の開発 第2報：装置試作とその真空への導入

定方 心; ラークムサプ ポンパン; 利波 浩樹; 池田 陽祐; 明田川 正人; 高田 孝次

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.565.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: K02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.565.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測（1）

結晶格子スケールとレーザ干渉計を複合した絶対測長器の開発

第2報：装置試作とその真空への導入

*定方心, ラークムサプポンパン, 利波浩樹, 池田陽祐, 明田川正人, 高田孝次

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キーワード: レーザ干渉計, 結晶格子, 走査型トンネル顕微鏡, サブナノメートル

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抄録

本研究グループでは，結晶格子表面の格子間隔の微細さと長周期安定性に注目し，これと走査型トンネル顕微鏡（STM）を組み合わせた結晶格子を基準とする長さ測定法（結晶格子スケール）の開発を進めている．前報では，結晶格子スケール（＝STM+結晶格子）と位相変調ホモダイン干渉計を組み合わせる複合型絶対測長器の提案を行った．本報では，装置のプロトタイプを試作し真空中で動作させたので，この評価を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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