球を測定対象とした場合の静電容量型変位センサの横方向感度測定

抄録

精密計測においては，センシング方向以外の感度は鈍いことが望ましいが，静電容量型センサは，コア面積と測定物間の静電容量の変化を測定しているため，球が横へ動いても変位として検知してしまう恐れがある．そこで本研究では，精密球を測定対象として，静電容量型変位センサの横方向（センシング方向と垂直な方向）の感度測定を行ない，コア径と球直径との相関を明らかにした．